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OMT-12RT明暗場(chǎng)半導(dǎo)體12寸晶圓檢查顯微鏡
全新的OMT-12R半導(dǎo)體 \FPD 檢查顯微鏡，*大支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查，含 4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)**提升，為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗(yàn)。
仰角可調(diào)觀察筒
0-35°觀察角度可調(diào)，適合不同身高的用戶，降低了對(duì)工作環(huán)境的要求，讓不同的使用者都能找到*佳的觀察角度，減輕了長時(shí)間工作帶來的不適與疲勞，大幅度提高工作效率。
全新離合驅(qū)動(dòng)式載物臺(tái)
OMT-12R 采用離合式手柄，用戶按下離合扳手就可靈活移動(dòng)平臺(tái)，無需長時(shí)間捏緊手柄；按下離合按鈕，取消快速移動(dòng)。避免長時(shí)間操作出現(xiàn)手麻現(xiàn)象，并加快觀察速度。OMT-12R 引入精密導(dǎo)軌傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，移動(dòng)更輕更順暢，產(chǎn)品更加穩(wěn)定可靠。
**、高速的電動(dòng)式物鏡轉(zhuǎn)換器
設(shè)有前進(jìn)、后退兩檔切換模式，可快速、**定位到所需要的觀察倍率，重復(fù)定位精度高。機(jī)械式的切換模式，有效提升了轉(zhuǎn)換器的使用壽命。
按鍵觸手可及，助您提高工作效率
OMT-12R 物鏡與孔徑光闌采用全新的電動(dòng)控制系統(tǒng)，其操作按鍵位于儀器正前方，讓您觸手可及。人性化的電動(dòng)設(shè)計(jì)不僅避免了頻繁的手動(dòng)操作步驟，也使您的檢測(cè)工作也更加快捷、靈活。
設(shè)有前進(jìn)、后退兩檔切換模式，可快速、**定位到所需要的觀察倍率，重復(fù)定位精度高。機(jī)械式的切換模式，有效提升了轉(zhuǎn)換器的使用壽命。
按鍵觸手可及，助您提高工作效率
OMT-12R 物鏡與孔徑光闌采用全新的電動(dòng)控制系統(tǒng)，其操作按鍵位于儀器正前方，讓您觸手可及。人性化的電動(dòng)設(shè)計(jì)不僅避免了頻繁的手動(dòng)操作步驟，也使您的檢測(cè)工作也更加快捷、靈活。
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OMT-12RT大型半導(dǎo)體晶圓檢查金相顯微鏡 |
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光學(xué)系統(tǒng) |
無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) |
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光學(xué)放大倍數(shù) |
50倍-1000倍 |
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數(shù)碼放大倍數(shù) |
120倍-2400倍（21.5寸顯示器） |
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工業(yè)相機(jī) |
1200萬1/1.8寸彩色索尼工業(yè)芯片（可選630萬和2000萬像素） |
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觀察筒 |
30°傾斜，正像，無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0或0:100 |
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目鏡 |
高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡SWH10X-H/23mm，視度可調(diào)（可選帶單刻度十字分劃板，） |
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物鏡 |
無限遠(yuǎn)超長工作距高分辨率明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡5X |
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無限遠(yuǎn)超長工作距高分辨率明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡10X |
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無限遠(yuǎn)超長工作距高分辨率明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡20X |
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無限遠(yuǎn)超長工作距高分辨率明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡50X |
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無限遠(yuǎn)超長工作距高分辨率明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡100X |
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物鏡轉(zhuǎn)換器 |
電動(dòng)明暗場(chǎng)6孔轉(zhuǎn)換器（帶DIC插槽） |
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OMT-12R機(jī)架 上光源 |
反射用機(jī)架, 低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)，采用數(shù)字調(diào)光，具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能 |
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載物臺(tái) |
14X12英寸離合式機(jī)，平臺(tái)面積 718mmX420mm，移動(dòng)行程：356mmX305mm機(jī)械平臺(tái)，X、Y方向同軸調(diào)節(jié)；帶反射用金屬載物臺(tái) |
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聚光鏡 |
搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9） |
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反射照明器 |
明暗場(chǎng)反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場(chǎng)光闌，中心可調(diào) ；帶明暗場(chǎng)照明切換裝置；帶濾色片插槽，帶起偏鏡/檢偏鏡插槽 |
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燈室 |
12V100W鹵素?zé)羰?，透、反射通用，預(yù)定中心 |
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攝像接口 |
攝影攝像附件：0.5X，C型接口，可調(diào)焦（可選1X的） |
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偏光組件 |
起偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 |
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電腦 |
戴爾品牌OptiPlex 3050MT操作系統(tǒng)W7處理器芯片I5-7500，3.40GHZ內(nèi)存8G，硬盤1TB， DVD光驅(qū) 23寸戴爾顯示器HDMI高清1920*1080 |
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測(cè)量軟件 |
測(cè)量軟件OMT-1.5D，拍照，錄像，測(cè)量，掃碼上傳，實(shí)時(shí)圖像拼接，景深融合 |
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標(biāo)尺 |
高精度型測(cè)微尺，格值0.01mm |
